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MEMS発振器って、気密シールされてないの？水晶発振器だと、ハーメチックシールで気密構造にして、外気から素子を完全に切り離していたと思うんだけど？
気密シールされてないと、ヘリウム以前に、湿度次第で故障率が上がりそう・・・
ヘリウムは小さいですから。大抵の気体は複数の原子が分子を構成していますが、ヘリウムは最小の原子一個です。水分子よりだいぶ小さいです。
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気密シールされてないの？ (スコア:0)
MEMS発振器って、気密シールされてないの？
水晶発振器だと、ハーメチックシールで気密構造にして、
外気から素子を完全に切り離していたと思うんだけど？
気密シールされてないと、ヘリウム以前に、湿度次第で故障率が上がりそう・・・
Re:気密シールされてないの？ (スコア:3)
ヘリウムは小さいですから。
大抵の気体は複数の原子が分子を構成していますが、ヘリウムは最小の原子一個です。水分子よりだいぶ小さいです。
Re:気密シールされてないの？ (スコア:1)
リークテストにもいろいろな方法があって、その一つのボンビング法の解説で水晶発振器などのリークテストに使われてるようなことを聞いた覚えがあります。
多数の素子をチャンバに入れてヘリウムで加圧。気密に破れがあると素子内部にヘリウムが浸透する。その後、真空引き。漏れがなければ、すぐにヘリウムが排気され一定時間後に検知されなくなる。漏れがあると、素子内部からじわじわとヘリウムが漏れ出し、いつまでたってもヘリウムがなくならない。なので、じゃじゃ漏れだと見分けがつかないので、微小リーク検知用。